LPP是啥？制光效率怎么样？能不能小型化？能用光纤长距离传输高功率激光吗？


【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 没问题，同步辐射光源能输出13.5nm激光，甚至更低，比如2-3nm
: 而且输出功率比ASML的LPP方式大几个数量级
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