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主题:Re: 外置同步辐射光源+简化光刻机的可行性及成本分析 (转载)
ibm221
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2023-09-09 10:52:30
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最后的难度估计还是找个壳子把它商业化,
类似于商飞,
看郭嘉的智商了
民企应该没这这个实力
litho完的硅片可以放n小时去下一步,
现在的设备可以先试验一下看看
8.8 的胶了mask有吗?
不如搞现有波长,
倒腾点胶先用着
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 不需要我搞,国内已经有人在搞了
: 上海同步辐射光源的FengChao已经干出来8.8nm了
:
https://opg.optica.org/optica/fulltext.cfm?uri=optica-9-7-785&id=478773
: ...................
--
修改:ibm221 FROM 119.112.121.*
FROM 119.112.121.*
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