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主题:Re: 外置同步辐射光源+简化光刻机的可行性及成本分析 (转载)
ibm221
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2023-09-09 21:33:05
|
日本那边什么情况,
有内线吗?
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 不需要我搞,国内已经有人在搞了
: 上海同步辐射光源的FengChao已经干出来8.8nm了
:
https://opg.optica.org/optica/fulltext.cfm?uri=optica-9-7-785&id=478773
: ...................
--
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