我觉得他们没啥进展，估计不急，也没钱
霉帝也有家Lyncean的公司在弄，找到一份他们两年前的资料
Compact Storage Ring FEL: a kW-scale EUV lithography source
国内上海同步辐射光源那边Feng Chao在做EEHC优化的
从论文看，得到了8.8nm的输出，离商用还多远不祥
【 在 ibm221 的大作中提到: 】
: 日本那边什么情况，
: 有内线吗？
: [upload=1][/upload]
: ...................
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