反正我对成本估计应该没有量级的错误
随着LPP EUV方案的越来越昂贵，要么EUV，要么下一代High NA EUV的成本会被
同步辐射光源方案追平。

事实上，对很多FEL的数据估计都是按照最保守的来的
比如光源厂造价按怀柔HEPS的50亿算，实际上应远小于这数
还有才支持10台光刻机，都是很保守的
电费用的是北京工业电价0.32元，如果建在水电旁边，估计0.1元都不用
真正算细账，或许ASML EUV成本就高于SRL方案，至少对我国成立

【 在 ibm221 的大作中提到: 】
: 日本那边什么情况，
: 有内线吗？
: [upload=1][/upload]
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