这玩意离实用应该还差好几步
辐射圈的和litho 圈得跨界，
得找几个大佬合作，
这可能是难点，
万一合作不愉快就和02一样的结果

【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 反正我对成本估计应该没有量级的错误
: 随着LPP EUV方案的越来越昂贵，要么EUV，要么下一代High NA EUV的成本会被
: 同步辐射光源方案追平。
: ...................
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