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主题:Re: 外置同步辐射光源+简化光刻机的可行性及成本分析 (转载)
dffisanangel
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2023-09-10 21:04:13
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关键你这个输出的极紫外光,能不能远距离传输啊
总不能紧紧围着建一圈儿光刻车间吧
要是能输送到比较远的比如几公里外的地方,那还好些
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 不需要我搞,国内已经有人在搞了
: 上海同步辐射光源的FengChao已经干出来8.8nm了
:
https://opg.optica.org/optica/fulltext.cfm?uri=optica-9-7-785&id=478773
: ...................
--
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