不知道特殊光纤能否用于传输千瓦级的EUV，最坏情况就是真空管道+光路

查到有个专利CN215769110U关于特殊光纤的：

本申请涉及极紫外光刻的技术领域，具体公开了一种耐紫外线高能光纤，包括若干输入光纤和输出光纤，所述输出光纤与若干输入光纤相连接，所述输出光纤的外壁上设有改性丙烯酸酯耐高温层，所述输出光纤上套设有保护管，所述输出光纤的一端设有输出连接头，所述输入光纤的一端设有输入连接头。本申请当输出光纤在传输功率较大的极紫外光时，改性丙烯酸酯耐高温层可避免输出光纤被烧坏，具有提高光纤耐高温性的效果。

【 在 dffisanangel 的大作中提到: 】
: 关键你这个输出的极紫外光，能不能远距离传输啊
: 总不能紧紧围着建一圈儿光刻车间吧
: 要是能输送到比较远的比如几公里外的地方，那还好些
: ...................
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