你这就属于是不懂工艺流程在这里瞎猜了，
做事情的大忌，
要么虚心看点书，
要么找个靠谱的人合作，
不然你这瞎搞方案回头还是没人理你
你不能为了推销方案
别人一个意见你就打个补丁，
不懂就是不懂，
你那些东西都是日本人的数据的翻版，
该索引的索引

【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 不知道特殊光纤能否用于传输千瓦级的EUV，最坏情况就是真空管道+光路
: 查到有个专利CN215769110U关于特殊光纤的：
: 本申请涉及极紫外光刻的技术领域，具体公开了一种耐紫外线高能光纤，包括若干输入光纤和输出光纤，所述输出光纤与若干输入光纤相连接，所述输出光纤的外壁上设有改性丙烯酸酯耐高温层，所述输出光纤上套设有保护管，所述输出光纤的一端设有输出连接头，所述输入光纤的一端设有输入连接头。本申请当输出光纤在传输功率较大的极紫外光时，改性丙烯酸酯耐高温层可避免输出光纤被烧坏，具有提高光纤耐高温性的效果。
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修改:ibm221 FROM 42.84.233.*
FROM 42.84.233.*