【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
因为光刻图案会有大量线条，衍射，当然会有相干。
之前就看到过华为有相关专利。
当时看得莫名其妙，因为确实没想到华为真的搞出euv工艺芯片！牛逼，华为！
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