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主题:Re: 据说同步辐射光刻的主要难点是 去相干?
somebody
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2023-09-15 18:35:34
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并没有证据华为是用euv做的
【 在 shuimu0691 的大作中提到: 】
: 因为光刻图案会有大量线条,衍射,当然会有相干。
: 之前就看到过华为有相关专利。
: 当时看得莫名其妙,因为确实没想到华为真的搞出euv工艺芯片!牛逼,华为!
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