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主题:Re: 据说同步辐射光刻的主要难点是 去相干?
shuimu0691
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2023-09-16 11:44:10
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【 在 lxku 的大作中提到: 】
: 我认为还有很多技术难点需要解决,光刻机的那个磁悬浮的平台,也不好搞。
: 还有刻蚀机,这个也不好搞,还要结合光刻胶去做,但国产光刻胶还没影呢。
:
刻蚀机,3nm的已经给台积电在用了。光刻胶已经规模量产了。工作台,多的是。
反射镜,华为和相关单位照造。
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