早些年的时候,大致的PN掺杂之类的可以通过染结之类的方法来分析,但是要想定量弄
出掺杂浓度,然后反向推测出工艺流程和工艺菜单,我觉得不太靠谱;
怎么说呢,我觉得这样反向还原出工艺比正向开发工艺还麻烦很多;
【 在 nicer123456 的大作中提到: 】
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: 老外的半导体探测器结构图 有什么办法分析出这里掺杂的参数,结的深度等各种和工艺相关的参数吗?
: 纯外行,希望各位批评指正
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