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主题:Re: 6纳米的光刻机,怎么做出半周期2纳米、周期4纳米的结构?
fzjmaster
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2025-04-08 15:40:28
|
不要抠字眼,不要欺负外行。
问题翻译一下:
一开始用于x纳米的光刻机,因为被制裁,买不到ASML的更先进的光刻机,怎么用这台 “x纳米”的光刻机,做出 x/2纳米的光罩(mask)?
请楼下给我们小白科普。
【 在 JavaGuyHan 的大作中提到: 】
: 哪来6nm光刻机?最先进的EUV也才13.5nm。
: _
--
FROM 113.106.107.*
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