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主题:Re: 6纳米的光刻机,怎么做出半周期2纳米、周期4纳米的结构?
lxku
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2025-04-09 19:02:42
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你是不是不知道什么叫mask?
【 在 snowfields 的大作中提到: 】
: 假设第一次在晶圆上做了600纳米凹凸凹凸凹凸的结构,第二次错位200纳米,那最左边的200纳米深度就变得会更深,这样就变成了三层
--
FROM 61.49.248.*
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