mask分成多层,但刻蚀是在同一层。
你如果不是学半导体的,我劝你不要来瞎折腾,这里面的坑很多。
当然,如果你愿意带着钱来撒,那是很欢迎的,否则没人陪你浪费时间。
【 在 snowfields 的大作中提到: 】
: 图1是掩膜版,线条宽度600微米,图2是同一块掩膜版,向右错位200微米,图3是同一块掩膜版,向左错位200微米。通过套刻,可以得到图3到图7的结构,任何一种结构都有4种或5种不同深度,但需要的是最后面那个图(图8)那样的2种不同深度。
: [upload=1][/upload]
: [upload=2][/upload]
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修改:lxku FROM 114.242.9.*
FROM 114.242.9.*