图1是掩膜版，线条宽度600微米，图2是同一块掩膜版，向右错位200微米，图3是同一块掩膜版，向左错位200微米。通过套刻，可以得到图3到图7的结构，任何一种结构都有4种或5种不同深度，但需要的是最后面那个图（图8）那样的2种不同深度。
























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修改:snowfields FROM 58.208.133.*
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