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主题:Re: 600纳米的光刻机,怎么做出半周期200纳米、周期400纳米的结
cxxc
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2025-05-25 15:24:52
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按这个啦逻辑可以搞出1nm
【 在 snowfields 的大作中提到: 】
: 图1是掩膜版,线条宽度600微米,图2是同一块掩膜版,向右错位200微米,图3是同一块掩膜版,向左错位200微米。通过套刻,可以得到图3到图7的结构,任何一种结构都有4种或5种不同深度,但需要的是最后面那个图(图8)那样的2种不同深度。
: [upload=1][/upload]
: [upload=2][/upload]
: ...................
--
FROM 223.104.40.*
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