文献标题：
Characterization of germanium phosphosilicate films prepared by modified chemical vapor deposition
作者：
S. Greenberg-Kosinski, L. Soto, S. R. Nagel and T. Watrous
期刊名称：AMERICAN CERAMIC SOCIETY BULLETIN
卷(Vol.)：60 期(No.)：8
页：860 年：
文献全文链接：
https://bulletin-archive.ceramics.org/1981-08/
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附言：
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