光刻机系统是非常复杂的，这种复杂其实是源于一个简单原因就是利用极紫外光线的特性，欧美还是希望能够找到其它的更好的光源以便简化复杂系统，另外这个复杂系统本身也有可能简化或提升，越是复杂系统，这里面变化越多，实现某种突破的可能性越大，反倒是越是简单的系统发生重大突破的可能性很低，因为技术是不断进步或变化的，复杂系统收到的影响的可能性会很高，复杂系统本身的变化也是很多，尤其是在其它技术变化后，这点要高度关注，我相信光刻机一定会有突破性的进展，而不是沿着西方的老路，这点台积电就做得很好。
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