单价超19亿 Intel全球首个下单订购ASML最先进EUV光刻机
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PConline
2022-01-19 18:57:31
业界新闻资讯
1月19日最新消息， Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻机。
TWINSCAN EXE:5200是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）。
从路线图来看，EXE:5200预计最快2024年底投入使用，2025年开始大规模应用于先进芯片的生产。
事实上，4年前，ASML的第一代高NA（0.55 NA）光刻机EXE:5000，Intel就是第一个下单的公司。不过当前的7nm、5nm芯片还并非是其生产，而是0.33NA EUV光刻机。
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