不错，我已经进步到和学阀扯上了，某论坛还只说我和Intel某前项目有关
随便你，我本来就只是感兴趣，然后研究了一些文章和相关论文

日本Ryukou Kato的ppt我看了，相关ppt也附在贴里了
我说了不是相关专业，所以上一篇构想文章对具体数据不了解，没法评估商业可行性。
正因为看Kato ppt，里面提到当前的能量转换率，所以我才可以进一步估算成本。
你在这加什么戏呢？

先利用现有设备做验证，走共享路线，这不就是我一直倡议的吗？
我主要强调一点，国内研发队伍可能觉得现在转换率太低，总想通过EEHC/SSMB等各种方式提高转换率后再做商用EUV。但我希望估算数据能表明，即使用现成的低转换率，通过光源共享的方式，仍有可能做出一个商业上可接受的EUV方案。优化转换率和Fab产线尝试可以同步推进，能节约大量成本和时间。

我在ITExpress也说了最简单的就是利用上海SSRF+FEL，先进行DUV光源的替换实验，验证商业可行性。这是最节约启动成本的方式。如果SSRF的指标不合适，可以考虑在建的HEPS。
这些同步辐射本身就有很多线束站在做实验，直接拉条出来加个FEL做商用尝试，是完全可行的。不需要启动什么大的研究项目，甚至Fab的横向课题就够了。

【 在 ibm221 的大作中提到: 】
: 还有一个可能就是你是来给某个学阀团体造势，
: 这里面的猫腻就是，
: 本来最优路径是先利用现有设备做验证，走共享路线等
: ...................
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FROM 123.114.95.*

美国为什么最终没采用这种方案呢？



【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 发信人: Zinux (Zinux), 信区: ITExpress
: 标  题: 外置同步辐射光源+简化光刻机的可行性及成本分析
: 发信站: 水木社区 (Fri Sep  8 22:45:29 2023), 站内
: ...................
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FROM 125.33.81.*

asml 显然没有加速器基础，
另外卖起来太费劲，
类似于卖鱼塘和卖鱼肉的区别，

赚钱大头给同步光源了，自己不划算

当然不排除还有些技术问题他也说不清楚，
具体你也可以去搜下日本人的报告

【 在 dragonfly112 的大作中提到: 】
: 美国为什么最终没采用这种方案呢？
:
:
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修改:ibm221 FROM 192.102.205.*
FROM 192.102.205.*

LPP方式好处主要是独立性好，便于独立销售
毕竟外部光源不像电力，已成为一种标准的外部资源
【 在 fansfans 的大作中提到: 】
: 封一个机器里保密性强，别人猜不出来？
: :同步辐射光源系统构想见：:https://www.newsmth.net/nForum/#!article/ITExpr
: - 来自 水木社区APP v3.5.7
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我在很认真的讨论问题+灌水呀
自己知道的尽量回答，不知道的如果能搜到答案也尽量回答
剩下的如果网友能回答就更好
你如果想做什么有罪推定随便你
我是从旧的互联网时代过来，依然相信互联网的共享精神
【 在 ibm221 的大作中提到: 】
: 你跑到这么个非专业论坛贴这么多
: 回这么多，有点意思啊
: 那么多业余问题还一一答疑
: ...................
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