极紫外光刻，为啥不用高折射率晶体？

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主题:极紫外光刻，为啥不用高折射率晶体？
phoenixhills|2023-09-04 16:20:03|
非要用水？比水折射率高的晶体有的是啊，完全可以把光刻频率向紫外频段延展啊
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