- 主题:极紫外光刻，为啥不用高折射率晶体？
非要用水？比水折射率高的晶体有的是啊，完全可以把光刻频率向紫外频段延展啊
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修改:phoenixhills FROM 218.249.201.*
FROM 218.249.201.*
极紫外根本不用水
极紫外用的是凹面镜
【 在 phoenixhills 的大作中提到: 】
: 非要用水？比水折射率高的晶体有的是啊，完全可以把光刻频率向紫外频段延展啊
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FROM 60.24.249.*
极紫外吸收非常强，得真空加反射，有介质就完蛋。
【 在 phoenixhills 的大作中提到: 】
: 非要用水？比水折射率高的晶体有的是啊，完全可以把光刻频率向紫外频段延展啊
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: 修改:phoenixhills FROM 218.249.201.*
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FROM 223.104.39.*
那为啥duv的时候不用晶体？
【 在 tgfbeta 的大作中提到: 】
: 极紫外根本不用水
: 极紫外用的是凹面镜
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FROM 218.249.201.*