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主题:Re: 极紫外光刻,为啥不用高折射率晶体?
phoenixhills
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2023-09-05 12:22:35
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那为啥duv的时候不用晶体?
【 在 tgfbeta 的大作中提到: 】
: 极紫外根本不用水
: 极紫外用的是凹面镜
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FROM 218.249.201.*
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