LPP就是现在ASML的方式呀
用20万瓦的二氧化碳激光去轰击锡滴来产生300瓦的EUV，然后通过收集镜，照明反射镜和投影物镜经过11次反射后到达硅片表面，每次反射损耗30%能量，最终到达硅片的能量只有可怜的300瓦x2%=6瓦。为了解决锡污染，又搞了一堆特殊镜头。

【 在 dragonfly112 的大作中提到: 】
: LPP是啥？制光效率怎么样？能不能小型化？能用光纤长距离传输高功率激光吗？
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