这个得找些人调研一下。

【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 重点是
: 类似ASML这种内置在10平米内的300瓦EUV光源不仅难搞
: 而且后续物镜也一堆麻烦，精度要求极高
: ...................
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