LELE应该可以，需要eda软件的配合，良率会下降。

【 在 snowfields 的大作中提到: 】
: 是这个意思。最后两个字改一下，光罩改成晶圆
: 一开始用于x纳米的光刻机，因为被制裁，买不到ASML的更先进的光刻机，怎么用这台 “x纳米”的光刻机，做出 x/2纳米的晶圆?
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