这样在晶圆做出来的不是两层，而是多层


【 在 lxku 的大作中提到: 】
: 用程序来分GDS，一层mask分成多层，每一层里的图形间距拉大到能做的节点，然后对原本一层的工艺做多次曝光刻蚀。
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