600纳米的光刻机，怎么做出半周期200纳米、周期400纳米的结构？

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主题:600纳米的光刻机，怎么做出半周期200纳米、周期400纳米的结构？
snowfields|2025-04-14 10:12:57|
各位高知，600纳米的光刻机，怎么做出半周期200纳米、周期400纳米的结构？

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