NA: Numerical Apperture,　ArF: Argon Fluoride,　MMO: Mix & Match Overlay,　WPH: Wafers Per Hour

这图上也有明显的错误，如EUV的型号NXE3400/3600写成了NXT3400/3600。但是关于国内先进光刻机分布的数据，还是有参考价值的。另外可参看网页：

http://finance.sina.com.cn/cj/2023-09-08/doc-imzkyakk7245008.shtml




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