Spin-on glass配合Resist lift off非常省事儿，只是oxide质量差点儿
你这是die edge conformality um级别的事儿，ALD PECVD 都不是做这个scale的工艺
【 在 dxg2000 的大作中提到: 】
: 可以找个研究所做，工艺控制要求不严格，只要达到侧壁绝缘就行
: 实在不行可以考虑买个机器专门做这个
: 现在就是看看用pecvd从具体工艺上可不可行，或者用更低温的
: ...................
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