你好，这个是我老婆回答的。她没有账号，用的我的账号回答的。PECVD是进腔的，划过的片子就没办法吸住。
【 在 dxg2000 的大作中提到: 】
: 可以找个研究所做，工艺控制要求不严格，只要达到侧壁绝缘就行
: 实在不行可以考虑买个机器专门做这个
: 现在就是看看用pecvd从具体工艺上可不可行，或者用更低温的
: ...................
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FROM 58.35.16.*